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設(shè)備名稱(chēng) 膜厚儀   品牌型號(hào)ST2000-DLXn

設(shè)備用途
測(cè)量氧化硅、氮化硅等材料的薄膜厚度

主要技術(shù)指標(biāo)：
測(cè)量尺寸：≤ 4inch
測(cè)量范圍： 20nm -5000nm

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