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地址: 青島市膠州市上合示范區(qū)閩江路60號
設(shè)備名稱:自動(dòng)紫外光刻機(jī) 品牌型號 SUSS MA6
設(shè)備用途
光刻機(jī)發(fā)出的紫外光通過具有特定圖形結(jié)構(gòu)的掩膜版對樣片曝光,然后通過顯影將掩膜版上的圖形結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到樣片表面的光刻膠上。
主要技術(shù)指標(biāo):
可選波長:365nm 405nm 436nm
可加工尺寸:2inch 3inch 4inch晶圓和≥1cm2碎片
極限分辨率:0.8um
正面套刻精度:≤0.25um
曝光穩(wěn)定性:±1%
曝光模式:真空接觸、硬接觸、軟接觸和泛曝光